等离子是由电子、离子、自由基和中性离子流组成，工作状态呈流星雨状导电性流体，属固态、液态、气态之外第四种物质形态。等离子发生器整体保持电中性， 。按离子的温度，等离子分为热平衡等离子体、非平衡等离子体和低温等离子体。
当废气进入等离子光解一体机净化设备内时，先经过等离子体化学反应过程，即电子 先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。
部分废气再通过破坏、分解、催化氧化把污染气体分解为 无味气体。采用 C波段光线强裂污染气体分子链，改变物质分子结构，将高分子污染物质裂解、氧化成为低分子物质，如水和二氧化碳等。O3强催化氧化剂进行废气催化氧化， 可地杀灭，将物质破坏且改变成为低分子物质。在C波段激光刺激催化剂涂层产生活性，催化氧化作用。在分解过程中产生 高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧)，众所周知臭氧对物具有的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有的 效果。O3也为强催化氧化剂进行废气催化氧化， 裂解恶臭气体中的分子键，破坏的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应， 达到脱臭及杀 的目的。
低温等离子净化工作原理：
采用低温等离子体分解油雾、废气等污染介质时，等离子体中的 离子起决定性的作用。废气和恶臭气体经过等离子体电场区，在纳秒级时间范围内流星雨状的 离子与介质内分子(原理）发生非弹性碰撞，等离子猛烈轰击废气和臭味等污染物分子，产生裂变分解反应，将能量转化成基态分子（原子）的内能，发生激发，离解、电离等一系列过程使污染介质处于活性状态，污染介质在等离子体的作用下，产生、、 量的各种活性自由基、 电子、 离子等，同时产生大量臭氧、原子氧、生态氧等混合气体，进行一系列复杂的分化裂解和氧化还原反应。（初级电子在电场中获得加速，撞击空气中的氧分子。当能量超过氧分子的电离电位时氧分子离子化。失去电子的氧分子变成正极性氧离子（O2+），而释放的电子又与另一中性氧分子结合变成负极性养离子（O2-)，结果是氧离子的两极分化并吸附中性氧分子形成O2+、O2-、O2等氧聚集的离子群，具有的氧化性，可在很短的时间内将污染空气中的成分分解为的产物和水）从净化空气效率考虑，我们选择了电晕电流较高化装置采用脉冲电晕放电低温等离子体与吸附技术相结合的原理对气体进行，其中低温等离子体主要用来去除硫化氢、氨、苯、二甲苯、甲醛、丙酮、尿烷、树脂、等气体及 ，吸附材料主要用于去除二氧化碳及臭氧等副产物。净化装置由初滤单元低温等离子体发生器及过滤单元，风机等设备和部件组成。
